आणविक बीम एपिटेक्सी (MBE) को संक्षिप्त
आणविक बीम एपिटेक्सी (MBE) को प्रविधि 1950 मा भ्याकुम वाष्पीकरण प्रविधि प्रयोग गरेर अर्धचालक पातलो फिल्म सामग्रीहरू तयार गर्न विकसित गरिएको थियो। अल्ट्रा-हाई भ्याकुम टेक्नोलोजीको विकासको साथ, प्रविधिको प्रयोग अर्धचालक विज्ञानको क्षेत्रमा विस्तार गरिएको छ।
अर्धचालक सामग्री अनुसन्धानको प्रेरणा नयाँ उपकरणहरूको लागि माग हो, जसले प्रणालीको प्रदर्शन सुधार गर्न सक्छ। बदलामा, नयाँ भौतिक प्रविधिले नयाँ उपकरण र नयाँ प्रविधि उत्पादन गर्न सक्छ। आणविक बीम एपिटेक्सी (MBE) एपिटेक्सियल लेयर (सामान्यतया अर्धचालक) वृद्धिको लागि उच्च भ्याकुम प्रविधि हो। यसले स्रोत परमाणुहरू वा एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटलाई असर गर्ने अणुहरूको ताप बीम प्रयोग गर्दछ। प्रक्रियाको अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम विशेषताहरूले इन-सिटु मेटालाइजेशन र भर्खरै बढेको अर्धचालक सतहहरूमा इन्सुलेट सामग्रीको वृद्धिलाई अनुमति दिन्छ, परिणामस्वरूप प्रदूषण-मुक्त इन्टरफेसहरू।
MBE टेक्नोलोजी
आणविक बीम एपिटेक्सी उच्च भ्याकुम वा अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम (1 x 10) मा गरिन्छ।-8पा) वातावरण। आणविक बीम एपिटेक्सीको सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण पक्ष यसको कम जम्मा दर हो, जसले सामान्यतया फिल्मलाई 3000 एनएम प्रति घण्टा भन्दा कमको दरमा एपिटेक्सियल बढ्न अनुमति दिन्छ। यस्तो कम डिपोजिसन दरलाई अन्य डिपोजिसन विधिहरू जस्तै सरसफाइको समान स्तर प्राप्त गर्न पर्याप्त उच्च वैक्यूम चाहिन्छ।
माथि वर्णन गरिएको अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम पूरा गर्नको लागि, MBE यन्त्र (Knudsen cell) मा शीतल तह हुन्छ, र विकास कक्षको अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम वातावरणलाई तरल नाइट्रोजन परिसंचरण प्रणाली प्रयोग गरेर कायम राख्नुपर्छ। तरल नाइट्रोजनले यन्त्रको आन्तरिक तापक्रमलाई ७७ केल्भिन (−१९६ डिग्री सेल्सियस) मा चिसो पार्छ। कम तापक्रमको वातावरणले भ्याकुममा अशुद्धताको सामग्रीलाई कम गर्न सक्छ र पातलो फिल्महरू जम्मा गर्नको लागि राम्रो अवस्था प्रदान गर्दछ। तसर्थ, MBE उपकरणहरूको लागि -196 °C तरल नाइट्रोजनको निरन्तर र स्थिर आपूर्ति प्रदान गर्न एक समर्पित तरल नाइट्रोजन शीतलन परिसंचरण प्रणाली आवश्यक छ।
तरल नाइट्रोजन शीतलन सर्कुलेशन प्रणाली
भ्याकुम तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली मुख्यतया समावेश गर्दछ,
● क्रायोजेनिक ट्याङ्की
● मुख्य र शाखा भ्याकुम ज्याकेट गरिएको पाइप / भ्याकुम ज्याकेट गरिएको नली
● MBE विशेष चरण विभाजक र भ्याकुम ज्याकेट गरिएको निकास पाइप
● विभिन्न भ्याकुम ज्याकेट भल्भहरू
● ग्यास-तरल अवरोध
● भ्याकुम ज्याकेट गरिएको फिल्टर
● गतिशील भ्याकुम पम्प प्रणाली
● पूर्व चिसो र पुन: तताउने प्रणाली शुद्ध गर्नुहोस्
HL Cryogenic Equipment Company ले MBE तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणालीको मागलाई ध्यान दिएको छ, MBE प्रविधिको लागि विशेष MBE तरल नाइट्रोजन कूइङ्ग प्रणाली र भ्याकुम इन्सुलेटको पूर्ण सेट सफलतापूर्वक विकास गर्न प्राविधिक ब्याकबोन संगठित छ।edपाइपिङ प्रणाली, जुन धेरै उद्यम, विश्वविद्यालय र अनुसन्धान संस्थानहरूमा प्रयोग गरिएको छ।
HL क्रायोजेनिक उपकरण
सन् १९९२ मा स्थापना भएको एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेन्ट चीनको चेङ्दु होली क्रायोजेनिक इक्विपमेन्ट कम्पनीसँग सम्बद्ध ब्रान्ड हो। HL Cryogenic Equipment उच्च भ्याकुम इन्सुलेटेड क्रायोजेनिक पाइपिङ प्रणाली र सम्बन्धित सपोर्ट इक्विपमेन्टको डिजाइन र निर्माण गर्न प्रतिबद्ध छ।
थप जानकारीको लागि, कृपया आधिकारिक वेबसाइटमा जानुहोस्www.hlcryo.com, वा इमेल गर्नुहोस्info@cdholy.com।
पोस्ट समय: मे-०६-२०२१
