आणविक बीम एपिटाक्सी उच्च भ्याकुम वा अल्ट्रा-हाई भ्याकुम (१ x १०) मा गरिएको थियो।^-8पा) वातावरण। आणविक बीम एपिटेक्सीको सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण पक्ष यसको कम निक्षेप दर हो, जसले सामान्यतया फिल्मलाई प्रति घण्टा ३००० एनएम भन्दा कम दरमा एपिटेक्सियल बढ्न अनुमति दिन्छ। यस्तो कम निक्षेप दरलाई अन्य निक्षेप विधिहरू जस्तै सरसफाइको स्तर प्राप्त गर्न पर्याप्त उच्च भ्याकुम चाहिन्छ।

माथि वर्णन गरिएको अति-उच्च भ्याकुम पूरा गर्न, MBE उपकरण （Knudsen सेल） मा शीतलन तह हुन्छ, र वृद्धि कक्षको अति-उच्च भ्याकुम वातावरण तरल नाइट्रोजन परिसंचरण प्रणाली प्रयोग गरेर कायम राख्नुपर्छ। तरल नाइट्रोजनले उपकरणको आन्तरिक तापक्रमलाई ७७ केल्भिन (−१९६ °C) मा शीतल पार्छ। कम तापक्रमको वातावरणले भ्याकुममा अशुद्धताको सामग्रीलाई अझ कम गर्न सक्छ र पातलो फिल्महरूको निक्षेपणको लागि राम्रो अवस्था प्रदान गर्न सक्छ। त्यसकारण, -१९६ °C तरल नाइट्रोजनको निरन्तर र स्थिर आपूर्ति प्रदान गर्न MBE उपकरणको लागि समर्पित तरल नाइट्रोजन शीतलन परिसंचरण प्रणाली आवश्यक पर्दछ।