



तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणालीहरू अर्धचालक र चिप उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा निम्न प्रक्रियाहरू समावेश छन्:
- आणविक बीम एपिटाक्सी (MBE) को प्रविधि
- COB प्याकेज पछि चिपको परीक्षण
सम्बन्धित उत्पादनहरु
आणविक किरण एपिट्याक्सी
भ्याकुम वाष्पीकरण प्रविधि प्रयोग गरेर अर्धचालक पातलो फिल्म सामग्री तयार गर्न १९५० को दशकमा आणविक बीम एपिटाक्सी (MBE) को प्रविधि विकास गरिएको थियो। अल्ट्रा-हाई भ्याकुम प्रविधिको विकाससँगै, प्रविधिको प्रयोग अर्धचालक विज्ञानको क्षेत्रमा विस्तार गरिएको छ।
HL ले MBE तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणालीको मागलाई ध्यानमा राखेको छ, MBE प्रविधिको लागि विशेष MBE तरल नाइट्रोजन कूइङ प्रणाली सफलतापूर्वक विकास गर्न व्यवस्थित प्राविधिक मेरुदण्ड र धेरै उद्यमहरू, विश्वविद्यालयहरू र अनुसन्धान संस्थानहरूमा प्रयोग गरिएको भ्याकुम इन्सुलेटेड पाइपिङ प्रणालीको पूर्ण सेट।
अर्धचालक र चिप उद्योगका सामान्य समस्याहरूमा समावेश छन्,
- टर्मिनल (MBE) उपकरणमा तरल नाइट्रोजनको चाप। क्षतिग्रस्त टर्मिनल (MBE) उपकरणबाट हुने प्रेसर ओभरलोडलाई रोक्नुहोस्।
- बहु क्रायोजेनिक तरल इनलेट र आउटलेट नियन्त्रणहरू
- टर्मिनल उपकरणमा तरल नाइट्रोजनको तापक्रम
- क्रायोजेनिक ग्यास उत्सर्जनको उचित मात्रा
- (स्वचालित) मुख्य र शाखा लाइनहरूको स्विचिङ
- VIP को दबाव समायोजन (घटाउने) र स्थिरता
- ट्याङ्कीबाट सम्भावित अशुद्धता र बरफको अवशेष सफा गर्ने तरिका
- टर्मिनल तरल उपकरणको भर्ने समय
- पाइपलाइन प्रिकुलिङ
- VIP प्रणालीमा तरल प्रतिरोध
- प्रणालीको निरन्तर सेवाको समयमा तरल नाइट्रोजनको हानि नियन्त्रण गर्नुहोस्
HL को भ्याकुम इन्सुलेटेड पाइप (VIP) ASME B31.3 प्रेसर पाइपिङ कोडलाई मानकको रूपमा निर्मित छ। ग्राहकको प्लान्टको दक्षता र लागत-प्रभावकारिता सुनिश्चित गर्न इन्जिनियरिङ अनुभव र गुणस्तर नियन्त्रण क्षमता।
समाधानहरू
HL क्रायोजेनिक उपकरणले ग्राहकहरूलाई अर्धचालक र चिप उद्योगको आवश्यकता र सर्तहरू पूरा गर्न भ्याकुम इन्सुलेटेड पाइपिङ प्रणाली प्रदान गर्दछ:
१.गुणस्तर व्यवस्थापन प्रणाली: ASME B31.3 प्रेसर पाइपिङ कोड।
२. स्वचालित नियन्त्रण प्रकार्यको साथ बहु क्रायोजेनिक तरल इनलेट र आउटलेट भएको विशेष चरण विभाजकले ग्यास उत्सर्जन, पुनर्नवीनीकरण तरल नाइट्रोजन र तरल नाइट्रोजनको तापक्रमको आवश्यकता पूरा गर्दछ।
३. पर्याप्त र समयमै निकास डिजाइनले टर्मिनल उपकरणहरू सधैं डिजाइन गरिएको दबाब मान भित्र काम गर्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ।
४. ग्यास-तरल ब्यारियर VI पाइपलाइनको अन्त्यमा ठाडो VI पाइपमा राखिएको छ। ग्यास-तरल ब्यारियरले VI पाइपलाइनको अन्त्यबाट VI पाइपिङमा ताप रोक्न ग्यास सिल सिद्धान्त प्रयोग गर्दछ, र प्रणालीको विच्छेदन र अवरोध सेवाको समयमा तरल नाइट्रोजनको क्षतिलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्दछ।
५. भ्याकुम इन्सुलेटेड भल्भ (VIV) शृङ्खलाद्वारा नियन्त्रित VI पाइपिङ: भ्याकुम इन्सुलेटेड (वायवीय) बन्द-अफ भल्भ, भ्याकुम इन्सुलेटेड चेक भल्भ, भ्याकुम इन्सुलेटेड रेगुलेटिंग भल्भ आदि सहित। आवश्यकता अनुसार VIP नियन्त्रण गर्न विभिन्न प्रकारका VIV लाई मोड्युलर संयोजन गर्न सकिन्छ। VIV निर्मातामा VIP पूर्वनिर्मितीसँग एकीकृत गरिएको छ, साइटमा इन्सुलेटेड उपचार बिना। VIV को सिल एकाइ सजिलै प्रतिस्थापन गर्न सकिन्छ। (HL ले ग्राहकहरू द्वारा तोकिएको क्रायोजेनिक भल्भ ब्रान्ड स्वीकार गर्दछ, र त्यसपछि HL द्वारा भ्याकुम इन्सुलेटेड भल्भहरू बनाउँछ। केही ब्रान्डहरू र भल्भका मोडेलहरू भ्याकुम इन्सुलेटेड भल्भहरूमा बनाउन सक्षम नहुन सक्छन्।)
६. भित्री ट्यूब सतहको सरसफाइको लागि अतिरिक्त आवश्यकताहरू भएमा सरसफाइ। स्टेनलेस स्टीलको चुहावटलाई अझ कम गर्न ग्राहकहरूले VIP भित्री पाइपको रूपमा BA वा EP स्टेनलेस स्टील पाइपहरू छनौट गर्न सुझाव दिइन्छ।
७. भ्याकुम इन्सुलेटेड फिल्टर: ट्याङ्कीबाट सम्भावित अशुद्धता र बरफको अवशेष सफा गर्नुहोस्।
८. केही दिन वा सोभन्दा बढी समय बन्द वा मर्मतसम्भार पछि, क्रायोजेनिक तरल पदार्थ प्रवेश गर्नु अघि VI पाइपिङ र टर्मिनल उपकरणहरूलाई प्रि-कुल गर्नु धेरै आवश्यक छ, ताकि क्रायोजेनिक तरल पदार्थ VI पाइपिङ र टर्मिनल उपकरणहरूमा सिधै प्रवेश गरेपछि आइस स्ल्यागबाट बच्न सकियोस्। डिजाइनमा प्रि-कुलिङ प्रकार्यलाई विचार गर्नुपर्छ। यसले टर्मिनल उपकरणहरू र VI पाइपिङ समर्थन उपकरणहरू जस्तै भल्भहरूको लागि राम्रो सुरक्षा प्रदान गर्दछ।
९. गतिशील र स्थिर भ्याकुम इन्सुलेटेड (लचिलो) पाइपिङ प्रणाली दुवैको लागि उपयुक्त।
१०. गतिशील भ्याकुम इन्सुलेटेड (लचिलो) पाइपिङ प्रणाली: VI फ्लेक्सिबल होज र/वा VI पाइप, जम्पर होज, भ्याकुम इन्सुलेटेड भल्भ प्रणाली, फेज सेपरेटर र डायनामिक भ्याकुम पम्प प्रणाली (भ्याकुम पम्प, सोलेनोइड भल्भ र भ्याकुम गेज आदि सहित) मिलेर बनेको हुन्छ। एकल VI फ्लेक्सिबल होजको लम्बाइ प्रयोगकर्ताको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।
११.विभिन्न जडान प्रकारहरू: भ्याकुम बेयोनेट जडान (VBC) प्रकार र वेल्डेड जडान चयन गर्न सकिन्छ। VBC प्रकारलाई साइटमा इन्सुलेटेड उपचारको आवश्यकता पर्दैन।