प्रविधि
आणविक बीम एपिटेक्सी, वा MBE, क्रिस्टल सब्सट्रेटहरूमा क्रिस्टलको उच्च-गुणस्तरको पातलो फिल्महरू बढाउनको लागि नयाँ प्रविधि हो। अति-उच्च भ्याकुम अवस्थाहरूमा, तताउने चुलोमा सबै प्रकारका आवश्यक कम्पोनेन्टहरू जडान गरिन्छ र स्टीम उत्पन्न हुन्छ, किरण परमाणु वा आणविक किरणहरू मिलाएर बनाइएका प्वालहरू मार्फत, एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटको उपयुक्त तापक्रममा सीधा इन्जेक्शन, आणविक बीम नियन्त्रण गर्न। एकै समयमा सब्सट्रेट स्क्यानिङ, यसले क्रिस्टल पङ्क्तिबद्ध तहहरूमा अणुहरू वा परमाणुहरूलाई सब्सट्रेट "बृद्धि" मा पातलो फिल्म बनाउन सक्छ।
MBE उपकरणको सामान्य सञ्चालनको लागि, उच्च शुद्धता, कम चाप र अल्ट्रा-क्लिन तरल नाइट्रोजन उपकरणको शीतल कक्षमा निरन्तर र स्थिर रूपमा ढुवानी गर्न आवश्यक छ। सामान्यतया, तरल नाइट्रोजन प्रदान गर्ने ट्याङ्कीमा ०.३MPa र ०.८MPa बीचको आउटपुट प्रेसर हुन्छ। तरल नाइट्रोजन -196℃ मा पाइपलाइन ढुवानी गर्दा सजिलै नाइट्रोजनमा वाष्पीकरण हुन्छ। पाइपलाइनमा लगभग १:७०० को ग्यास-तरल अनुपात भएको तरल नाइट्रोजन एकपटक ग्यासिफाइड भएपछि, यसले तरल नाइट्रोजन प्रवाहको ठूलो मात्रा ओगटेको छ र तरल नाइट्रोजन पाइपलाइनको अन्त्यमा सामान्य प्रवाहलाई कम गर्नेछ। थप रूपमा, तरल नाइट्रोजन भण्डारण ट्यांकमा, सफा नगरिएको मलबे हुन सक्छ। तरल नाइट्रोजन पाइपलाइनमा, भिजेको हावाको अस्तित्वले आइस स्ल्यागको उत्पादनलाई पनि नेतृत्व गर्नेछ। यदि यी अशुद्धता उपकरणमा डिस्चार्ज गरियो भने, यसले उपकरणमा अप्रत्याशित क्षति निम्त्याउँछ।
तसर्थ, बाहिरी भण्डारण ट्याङ्कीमा रहेको तरल नाइट्रोजनलाई MBE उपकरणमा धुलोरहित कार्यशालामा उच्च दक्षता, स्थिरता र सफा गरी ढुवानी गरिन्छ, र न्यून चाप, नाइट्रोजन, कुनै अशुद्धता, 24 घण्टा निर्बाध, यस्तो यातायात नियन्त्रण प्रणाली हो। एक योग्य उत्पादन।
मिल्दो MBE उपकरण
2005 देखि, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ले यस प्रणालीलाई अनुकूलन र सुधार गर्दै आएको छ र अन्तर्राष्ट्रिय MBE उपकरण निर्माताहरूसँग सहकार्य गर्दै आएको छ। DCA, REBER लगायत MBE उपकरण निर्माताहरूको हाम्रो कम्पनीसँग सहकारी सम्बन्ध छ। DCA र REBER सहित MBE उपकरण निर्माताहरूले ठूलो संख्यामा परियोजनाहरूमा सहयोग गरेका छन्।
Riber SA कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर अनुसन्धान र औद्योगिक अनुप्रयोगहरूको लागि आणविक बीम epitaxy (MBE) उत्पादनहरू र सम्बन्धित सेवाहरूको एक अग्रणी विश्वव्यापी प्रदायक हो। Riber MBE उपकरणले सब्सट्रेटमा सामग्रीको धेरै पातलो तहहरू जम्मा गर्न सक्छ, धेरै उच्च नियन्त्रणहरूको साथ। HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) को भ्याकुम उपकरण Riber SA ले सुसज्जित छ जसमा सबैभन्दा ठूलो उपकरण Riber 6000 र सबैभन्दा सानो कम्प्याक्ट 21 हो। यो राम्रो अवस्थामा छ र ग्राहकहरु द्वारा मान्यता प्राप्त छ।
DCA विश्वको अग्रणी ओक्साइड MBE हो। 1993 देखि, अक्सिडेशन प्रविधिहरू, एन्टिअक्सिडेन्ट सब्सट्रेट ताप र एन्टिअक्सिडेन्ट स्रोतहरूको व्यवस्थित विकास गरिएको छ। यस कारणका लागि, धेरै अग्रणी प्रयोगशालाहरूले DCA अक्साइड प्रविधि रोजेका छन्। कम्पोजिट सेमीकन्डक्टर MBE प्रणालीहरू विश्वभर प्रयोग गरिन्छ। HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) को VJ तरल नाइट्रोजन परिसंचरण प्रणाली र DCA को धेरै मोडेलहरूको MBE उपकरणसँग धेरै परियोजनाहरूमा मिल्दो अनुभव छ, जस्तै मोडेल P600, R450, SGC800 आदि।
प्रदर्शन तालिका
सांघाई प्राविधिक भौतिकी संस्थान, चिनियाँ विज्ञान एकेडेमी |
चीन इलेक्ट्रोनिक्स टेक्नोलोजी कर्पोरेशन को 11 औं संस्थान |
सेमीकन्डक्टरहरूको संस्थान, चिनियाँ विज्ञान एकेडेमी |
Huawei |
अलिबाबा दामो एकेडेमी |
पावरटेक टेक्नोलोजी इंक। |
डेल्टा इलेक्ट्रोनिक्स इंक। |
सुझौ एभरब्राइट फोटोनिक्स |
पोस्ट समय: मई-26-2021